Absorptionsspektroskopie an molekularen Gasen
406 Absorptionsspektroskopie an molekularen Gasen
Die Absorptionsspektroskopie wird in vielen Feldern der Physik angewandt. Mit dieser Methode können absolute Dichten von Molekülen und Radikalen einfach bestimmt werden. In der Plasmaphysik ist die Absorptionsspektroskopie eine Standard-Diagnostik mit deren Hilfe die chemische Zusammensetzung in reaktiven Entladungen bestimmt wird. Die Konzentrationen der einzelnen Spezies sind ausschlaggebend für die Eigenschaften der produzierten Filme, welche in der Industrie vielfältige Anwendungen haben. In diesem Versuch lernt man die Grundlagen dieser Diagnostik an molekularen Gasen wie Methan oder Acetylen kennen. Dazu gehören der Umgang mit Laserdioden, die Untersuchung von verschiedenen Linienprofilen und der Einsatz der Lock-in-Technik zur Signaloptimierung. Im zweiten Versuchsteil wird das Erlernte auf ein reaktives RF-Plasma angewandt. Es sollen z.B. die Konzentrationen von Kohlenwasserstoffen in Abhängigkeit von der eingekoppelten Leistung gemessen werden oder die Zeitabhängigkeit einer chemischen Reaktion untersucht werden.
