Bedienung des Experiments

Versuchsaufbau

Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb.) durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden. Das Plasma wird in einem Niederdruck-Edelstahlkammer erzeugt. Eine Vorvakuumspumpe, Turbomolekularpumpe und ein Butterfly-Ventil erhalten das Vakuum aufrecht. Unter der Kammer, hinter einem Quartzglass, befindet sich eine planare Spule. Sie wird mit einem HF-Generator gespeist. Zwischen Generator und Antenne ist ein Matchingnetzwerk installiert, mit dem die HF-Leistung optimal (reflektionsfrei) in das Plasma eingekoppelt wird. Gasströme in die Kammer werden durch Massflow-Controller geregelt. Die Druckstufe des Massenspektrometers befindet sich seitlich vom Plasmavolumen. Die gemessene GAsmischung wird durch eine Extraktionsöffnung an der MS-Druckstufe zum Massenspektrometer geleitet. Alle relevanten Funktionen des Reaktors und des Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus gesteuert. PZusätzlich wird plasmaemission mit Hilfe von einem kleinen Spektrografen durch ein Quartzfenster gemessen.