Bedienung des Experiments
\chapter{Versuchsaufbau}
\section{ICP-Aufbau}
Der Versuch wird an einem ICP-Reaktor (s. Abb. \ref{fig:icpms1}) durchgeführt, an dem auch aktuelle Forschungsarbeiten stattfinden. Das Plasma wird in einem Niederdruck-Edelstahlkammer erzeugt. Eine Vorvakuumspumpe, Turbomolekularpumpe und ein Butterfly-Ventil erhalten das Vakuum aufrecht. Ein Probenhalter im Reaktor kann zur Plasmabehandlung von Wafern oder anderen Objekten benutzt werden. In der Kammer befindet sich die planare Spule, isoliert vom Plasmavolumen unter einem Quarzhut. Sie wird mit einem HF-Generator gespeist. Zwischen Generator und Antenne ist ein Matchingnetzwerk installiert, mit dem die HF-Leistung optimal (reflektionsfrei) in das Plasma eingekoppelt wird. Gasströme in die Kammer werden durch Massflow-Controller geregelt. Die zwei Druckstufen des Massenspektrometers befinden sich seitlich vom Plasmavolumen. Der Teilchenstrahl wird durch eine Extraktionsöffnung an der MS-Druckstufe zum Massenspektrometer geleitet. Alle relevanten Funktionen des Reaktors und des Massenspektrometers werden über zwei Programme vom PC aus gesteuert.
