Aufgaben

Einführung in den experimentellen Aufbau

Ziel:

a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung, sowie Vorbereitung des Aufbaus für das Experiment.

b) Verstehen der induktiven Entladungen in Plasmen (Inductively Coupled Plasma)

Einführung in die Massenspektrometrie

Ziel:

a) Kennenlernen der Bauteile und Bedienung des Massenspektrometers (MS).

b) Verstehen des Massenspektrums und den Ein°uss der Einstellungen des MS auf das Spektrum.

c) Messung der Kalibrierspektren

Auswertung des Massenspektrums - unbekanntes Gasgemisch

Ziel :

Auswertung des Massenspektrums eines unbekannten Gasgemisches mit Hilfe der Fußgänger-Methode und der Methode der kleinsten Quadrate

Messung des CH4-Plasmas

Ziel :

Messung des CH4-Plasmas. Dieses Plasma wird zum Auftragen dÄunner diamantähnlicher Kohlewasserstofschichten verwendet.

Messung des Ar/O2-Plasmas

Ziel:

Messung des Ar/O2-Plasmas - Plasma wird zum Ätzen von Kohlenstoffschichten benutzt. In diesem Versuch wird das Ar/O2-Plasmas zum Reinigen der Plasmakammer verwendet.