Massenspektrometrie in reaktiven Plasmen: Unterschied zwischen den Versionen

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Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne
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'''405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen'''
Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.
 
Plasma erzeugte Beschichtungen verleihen Werkstücken neuartige
 
Eigenschaften wie besondere Härte oder verhindern die Permeation
 
von Gasen oder Flüssigkeiten durch Kunststoffe. Plasma-Ätzen macht
 
es möglich Nanometer große Strukturen in Silizium zu ätzen.
 
  
Zentrale Fragestellung bei der Untersuchung von reaktiven Plasmen
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In this experiment an ICP source (Inductively Coupled
ist die Suche nach den dominanten Spezies, die zu einer
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Plasma) will be used to generate a plasma discharge. The
Beschichtung oder zum Ätzen führen. In einem Plasma wird ein
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discharge will be analysed by optical and mass spectrometry,
Ausgangsgas dissoziiert und ionisiert und die entstehenden
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with the focus on the mass spectrometry. The fundamentals
Teilchen treten mit der Oberfläche in Wechselwirkung. Dabei können
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and working principle of the mass spectrometer and its use to
eine Vielzahl von Spezies gleichzeitig zu der Materialsynthese
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analyse different particles of a plasma will be learned.
oder zur Erosion beitragen. Die Isolation einzelner Mechanismen
 
vor dem Hintergrund einer sehr komplexen Plasmachemie ist
 
allerdings nicht ohne weiteres möglich.
 
  
Die Massenspektrometrie ist hierbei eine sehr geeignete
+
[[http://f-praktikum.ep1.rub.de/anleitung/Vers405_en.pdf]Student manual]
Diagnostik, da sie sensitiv für eine Vielzahl von
 
unterschiedlichen Spezies ist. Dies soll in dem vorliegenden
 
Praktikumsversuch thematisiert werden.
 
 
 
Als Beispiel wird eine induktive Methanentladung gewählt. Nach dem
 
Erlernen des Umgangs mit dem Massenspektrometer und der Analyse der
 
Signale von einigen neutralen Quellgasen, soll die Zusammensetzung
 
eines Plasmas in Abhängigkeit von den Prozessparametern untersucht
 
werden. Hierbei soll zusätzlich die sogenannte
 
Schwellenspektroskopie durchgeführt werden, bei der selektiv
 
Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.
 
 
 
== Versuchsbeschreibung ==
 
 
 
* [[Einleitung]]
 
* [[Grundlagen]]
 
* [[Bedienung des Experiments]]
 
* [[Aufgaben]]
 
 
 
[[Datei:405_Anleitung.pdf|Veruuchsanleitung als PDF-Dokument]]
 

Aktuelle Version vom 3. Mai 2021, 14:45 Uhr

405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen

In this experiment an ICP source (Inductively Coupled Plasma) will be used to generate a plasma discharge. The discharge will be analysed by optical and mass spectrometry, with the focus on the mass spectrometry. The fundamentals and working principle of the mass spectrometer and its use to analyse different particles of a plasma will be learned.

[[1]Student manual]