https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?action=history&feed=atom&title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen 2026-04-04T08:09:05Z Versionsgeschichte dieser Seite in F-Praktikum SOWAS Wiki MediaWiki 1.30.0 https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=1229&oldid=prev 2021-05-03T13:45:54Z

<p></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 3. Mai 2021, 13:45 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1" >Zeile 1:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 1:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>'''405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen'''</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>'''405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen'''</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">In this experiment an ICP source (Inductively Coupled</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie</del>.</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">Plasma) will be used to generate a plasma discharge</ins>. <ins class="diffchange diffchange-inline">The</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Plasma erzeugte Beschichtungen verleihen Werkstücken neuartige</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">discharge will be analysed by optical and mass spectrometry,</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Eigenschaften wie besondere Härte oder verhindern die Permeation</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">with the focus on the mass spectrometry. The fundamentals</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">von Gasen oder Flüssigkeiten durch Kunststoffe. Plasma-Ätzen macht</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">and working principle of the mass spectrometer and its use to</ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">es möglich Nanometer große Strukturen in Silizium zu ätzen</del>.</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">analyse different particles of a plasma will be learned</ins>.</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Zentrale Fragestellung bei der Untersuchung von reaktiven Plasmen</del></div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[http://f-praktikum.ep1.rub.de/anleitung/<ins class="diffchange diffchange-inline">Vers405_en</ins>.pdf]<ins class="diffchange diffchange-inline">Student manual</ins>]</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">ist die Suche nach den dominanten Spezies, die zu einer</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Beschichtung oder zum Ätzen führen. In einem Plasma wird ein</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Ausgangsgas dissoziiert und ionisiert und die entstehenden</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Teilchen treten mit der Oberfläche in Wechselwirkung. Dabei können</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">eine Vielzahl von Spezies gleichzeitig zu der Materialsynthese</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">oder zur Erosion beitragen. Die Isolation einzelner Mechanismen</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">vor dem Hintergrund einer sehr komplexen Plasmachemie ist</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">allerdings nicht ohne weiteres möglich.</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Die Massenspektrometrie ist hierbei eine sehr geeignete</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Diagnostik, da sie sensitiv für eine Vielzahl von</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">unterschiedlichen Spezies ist. Dies soll in dem vorliegenden</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Praktikumsversuch thematisiert werden.</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Als Beispiel wird eine induktive Methanentladung gewählt. Nach dem</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Erlernen des Umgangs mit dem Massenspektrometer und der Analyse der</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Signale von einigen neutralen Quellgasen, soll die Zusammensetzung</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">eines Plasmas in Abhängigkeit von den Prozessparametern untersucht</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">werden. Hierbei soll zusätzlich die sogenannte</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Schwellenspektroskopie durchgeführt werden, bei der selektiv</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">== Versuchsbeschreibung ==</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">* [[Einleitung]]</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">* [[Grundlagen]]</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">* [[Bedienung des Experiments]]</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del class="diffchange diffchange-inline">* [[Aufgaben]]</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[http://f-praktikum.ep1.rub.de/anleitung/<del class="diffchange diffchange-inline">Vers405</del>.pdf]<del class="diffchange diffchange-inline">Versuchsanleitung als PDF-Dokument</del>]</div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> </table>

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<p>‎<span dir="auto"><span class="autocomment">Versuchsbeschreibung</span></span></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 18. Oktober 2010, 10:15 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l38" >Zeile 38:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 38:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* [[Aufgaben]]</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* [[Aufgaben]]</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[<del class="diffchange diffchange-inline">Datei</del>:<del class="diffchange diffchange-inline">405_Anleitung</del>.pdf<del class="diffchange diffchange-inline">| </del>Versuchsanleitung als PDF-Dokument<del class="diffchange diffchange-inline">]</del>]</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[<ins class="diffchange diffchange-inline">http</ins>:<ins class="diffchange diffchange-inline">//f-praktikum.ep1.rub.de/anleitung/Vers405</ins>.pdf<ins class="diffchange diffchange-inline">]</ins>Versuchsanleitung als PDF-Dokument]</div></td></tr> </table>

Reicherz https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=735&oldid=prev 2010-04-28T07:48:36Z

<p></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 28. April 2010, 07:48 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1" >Zeile 1:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 1:</td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;">'''405 Massenspektrometrie von reaktiven Plasmen'''</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"></ins></div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.</div></td></tr> </table>

Reicherz https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=42&oldid=prev 2009-05-29T08:02:38Z

<p>hat „<a href="/fpsowas/index.php/Massenspektr._in_reakt._Plasmen" class="mw-redirect" title="Massenspektr. in reakt. Plasmen">Massenspektr. in reakt. Plasmen</a>“ nach „<a href="/fpsowas/index.php/Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen" title="Massenspektrometrie in reaktiven Plasmen">Massenspektrometrie in reaktiven Plasmen</a>“ verschoben</p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="1" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="1" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 29. Mai 2009, 08:02 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" style="text-align: center;" lang="de"><div class="mw-diff-empty">(kein Unterschied)</div> </td></tr></table>

VonKeudell https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=39&oldid=prev 2009-05-29T08:00:22Z

<p>‎<span dir="auto"><span class="autocomment">Versuchsbeschreibung</span></span></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 29. Mai 2009, 08:00 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l36" >Zeile 36:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 36:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* [[Aufgaben]]</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* [[Aufgaben]]</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[Datei:405_Anleitung.pdf<del class="diffchange diffchange-inline">/</del>Versuchsanleitung als PDF-Dokument]]</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[Datei:405_Anleitung.pdf<ins class="diffchange diffchange-inline">| </ins>Versuchsanleitung als PDF-Dokument]]</div></td></tr> </table>

VonKeudell https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=38&oldid=prev 2009-05-29T08:00:05Z

<p>‎<span dir="auto"><span class="autocomment">Versuchsbeschreibung</span></span></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 29. Mai 2009, 08:00 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l36" >Zeile 36:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 36:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* [[Aufgaben]]</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>* [[Aufgaben]]</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[Datei:405_Anleitung.pdf<del class="diffchange diffchange-inline">|Veruuchsanleitung </del>als PDF-Dokument]]</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>[[Datei:405_Anleitung.pdf<ins class="diffchange diffchange-inline">/Versuchsanleitung </ins>als PDF-Dokument]]</div></td></tr> </table>

VonKeudell https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=37&oldid=prev 2009-05-29T07:59:32Z

<p>‎<span dir="auto"><span class="autocomment">Kurzbeschreibung</span></span></p> <table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface"> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <col class="diff-marker" /> <col class="diff-content" /> <tr style="vertical-align: top;" lang="de"> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">← Nächstältere Version</td> <td colspan="2" style="background-color: white; color:black; text-align: center;">Version vom 29. Mai 2009, 07:59 Uhr</td> </tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l1" >Zeile 1:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 1:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del style="font-weight: bold; text-decoration: none;">= Kurzbeschreibung =</del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><del style="font-weight: bold; text-decoration: none;"></del></div></td><td colspan="2">&#160;</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.</div></td></tr> <tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l31" >Zeile 31:</td> <td colspan="2" class="diff-lineno">Zeile 29:</td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.</div></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.</div></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td><td class='diff-marker'>&#160;</td><td style="background-color: #f9f9f9; color: #333333; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #e6e6e6; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"></td></tr> <tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== <del class="diffchange diffchange-inline">Weiterführende Dokumente </del>==</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>== <ins class="diffchange diffchange-inline">Versuchsbeschreibung </ins>==</div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">* [[Einleitung]]</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">* [[Grundlagen]]</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">* [[Bedienung des Experiments]]</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">* [[Aufgaben]]</ins></div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>&#160;</div></td></tr> <tr><td colspan="2">&#160;</td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color:black; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline">[[Datei:405_Anleitung.pdf|Veruuchsanleitung als PDF-Dokument]]</ins></div></td></tr> </table>

VonKeudell https://wiki.physik.rub.de/fpsowas/index.php?title=Massenspektrometrie_in_reaktiven_Plasmen&diff=36&oldid=prev 2009-05-29T07:57:26Z

<p>Die Seite wurde neu angelegt: „= Kurzbeschreibung = Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie. Plasma erzeugt...“</p> <p><b>Neue Seite</b></p><div>= Kurzbeschreibung =<br /> <br /> Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne<br /> Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.<br /> Plasma erzeugte Beschichtungen verleihen Werkstücken neuartige<br /> Eigenschaften wie besondere Härte oder verhindern die Permeation<br /> von Gasen oder Flüssigkeiten durch Kunststoffe. Plasma-Ätzen macht<br /> es möglich Nanometer große Strukturen in Silizium zu ätzen.<br /> <br /> Zentrale Fragestellung bei der Untersuchung von reaktiven Plasmen<br /> ist die Suche nach den dominanten Spezies, die zu einer<br /> Beschichtung oder zum Ätzen führen. In einem Plasma wird ein<br /> Ausgangsgas dissoziiert und ionisiert und die entstehenden<br /> Teilchen treten mit der Oberfläche in Wechselwirkung. Dabei können<br /> eine Vielzahl von Spezies gleichzeitig zu der Materialsynthese<br /> oder zur Erosion beitragen. Die Isolation einzelner Mechanismen<br /> vor dem Hintergrund einer sehr komplexen Plasmachemie ist<br /> allerdings nicht ohne weiteres möglich.<br /> <br /> Die Massenspektrometrie ist hierbei eine sehr geeignete<br /> Diagnostik, da sie sensitiv für eine Vielzahl von<br /> unterschiedlichen Spezies ist. Dies soll in dem vorliegenden<br /> Praktikumsversuch thematisiert werden.<br /> <br /> Als Beispiel wird eine induktive Methanentladung gewählt. Nach dem<br /> Erlernen des Umgangs mit dem Massenspektrometer und der Analyse der<br /> Signale von einigen neutralen Quellgasen, soll die Zusammensetzung<br /> eines Plasmas in Abhängigkeit von den Prozessparametern untersucht<br /> werden. Hierbei soll zusätzlich die sogenannte<br /> Schwellenspektroskopie durchgeführt werden, bei der selektiv<br /> Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.<br /> <br /> == Weiterführende Dokumente ==</div>

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