Quelltext der Seite Massenspektrometrie in reaktiven Plasmen

Reaktive Plasmen sind ein wichtiges Werkzeug für viele moderne
Anwendungen etwa aus der Automobil- oder Halbleiterindustrie.
Plasma erzeugte Beschichtungen verleihen Werkstücken neuartige
Eigenschaften wie besondere Härte oder verhindern die Permeation
von Gasen oder Flüssigkeiten durch Kunststoffe. Plasma-Ätzen macht
es möglich Nanometer große Strukturen in Silizium zu ätzen.

Zentrale Fragestellung bei der Untersuchung von reaktiven Plasmen
ist die Suche nach den dominanten Spezies, die zu einer
Beschichtung oder zum Ätzen führen. In einem Plasma wird ein
Ausgangsgas dissoziiert und ionisiert und die entstehenden
Teilchen treten mit der Oberfläche in Wechselwirkung. Dabei können
eine Vielzahl von Spezies gleichzeitig zu der Materialsynthese
oder zur Erosion beitragen. Die Isolation einzelner Mechanismen
vor dem Hintergrund einer sehr komplexen Plasmachemie ist
allerdings nicht ohne weiteres möglich.

Die Massenspektrometrie ist hierbei eine sehr geeignete
Diagnostik, da sie sensitiv für eine Vielzahl von
unterschiedlichen Spezies ist. Dies soll in dem vorliegenden
Praktikumsversuch thematisiert werden.

Als Beispiel wird eine induktive Methanentladung gewählt. Nach dem
Erlernen des Umgangs mit dem Massenspektrometer und der Analyse der
Signale von einigen neutralen Quellgasen, soll die Zusammensetzung
eines Plasmas in Abhängigkeit von den Prozessparametern untersucht
werden. Hierbei soll zusätzlich die sogenannte
Schwellenspektroskopie durchgeführt werden, bei der selektiv
Radikale in einem Plasma nachgewiesen werden können.

== Versuchsbeschreibung ==

* [[Einleitung]]
* [[Grundlagen]]
* [[Bedienung des Experiments]]
* [[Aufgaben]]

[[Datei:405_Anleitung.pdf| Versuchsanleitung als PDF-Dokument]]